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 凈化車間潔凈度檢測，是凈化車間性能測試的核心，氣流測試、壓力測試等都只能在確認凈化車間的潔凈度不受影響后才能進行。那么，該如何檢測凈化車間潔凈度，首先，應選用正確的檢測儀器。一般可以采用的儀器有光散射粒子計數器、凝結核粒子計數器、電子顯微鏡和光學顯微鏡，但目前用得多的，還是光散射粒子計數器。在檢測凈化車間潔凈度過程中，光散射粒子計數器可以對室內空氣的含塵量進行自動、連續、及時地對應測量，可以直接顯示瞬時的含塵濃度，也可以對不同粒徑的含塵濃度進行測量，使用起來簡單、方便、及時、靈活。塵埃粒子計數器有不同的規格，根據標準規定，對于100級的凈化車間，每次取樣量應大于或等于1L，對于1000~10000級的凈化車間，每次取樣量應大于或等于0.3L，對于10000級的凈化車間，每次取樣量應大于或等于0.1L。對于100級凈化車間，宜選用大流量粒子計數器進行測驗。

 檢測凈化車間潔凈度，還要明確檢測點的布置。根據相關的規定，在對凈化車間進行潔凈度檢測時，檢測點應為距室內地坪1.00m的水平面內。對于單向流型凈化車間，檢測點總數應不小于20點，測點間距為0.5-2.0m。水平單向流測點僅布置在凈化車間工作區內，非單向流型凈化車間，要按凈化車間面積，小于或等于50平方米，布置5個測點。

 凈化車間潔凈度的檢測步驟，首先應確定系統的測試調整與平衡已完成，確認測試位置和點數。每點的取樣時間應按照等級與粒徑不同而變化，若是取樣時間小于1分鐘，則應以1分鐘為準。測試位置應均勻分布在潔凈車間內，避免在產生大量粒子的附近，而且儀器應用架臺支撐，不可以用手支撐，測量出的點數要用公式計量。