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 常見的電子無塵車間潔凈度等級有十萬級、萬級、千級、百級、十級等，數值越高代表這個車間的含塵量越大，也意味著車間的潔凈度越低，所以這幾個潔凈度等級中，十萬級歸于較低級，而十級歸于。不同電子產品依據生產工藝的不同會需要不同潔凈度等級的凈化車間，而不同的潔凈度等級的電子無塵車間有著不同的規范，所以說，無塵車間的規范要根據是什么樣等級的車間以及產品的生產工藝要求來定。

 比方說十萬級潔凈度等級的電子無塵車間的規范有：塵粒較大答應數≥0.5微米的粒子數不超越350萬個，≥5微米的粒子數不超越2萬個。塵粒較大答應數≥0.5微米的粒子數不超越350萬個，≥5微米的粒子數不超越2萬個。相同潔凈度等級的潔凈室壓差保持一致，關于不同潔凈等級的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。電子無塵車間的溫濕度規范要看具體是什么樣的電子產品，不同的電子產品關于溫濕度要求是不一樣的，可是電子車間通常都有防靜電要求，由于靜電會對電子產品形成不良影響，所以在確定溫濕度數據的時候要考慮到盡可能削減靜電的產生。

電子無塵車間的萬級、千級、百級、十級等潔凈度等級的規范也是有著各自的要求的