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 無塵車間是指將必定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物掃除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別規劃之房間。　　

 無塵車間是不管外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有保持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵車間的等級包含1級無塵車間、百級無塵車間、千級無塵車間以及十萬級無塵車間等。　　

千級無塵車間是什么意思?　　

 每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，達到了世界無塵規范的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵規范對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也便是業內俗稱等級中的千級。　　

 千級無塵車間的規范，微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也便是業內千級無塵車間的意思。（1000級的概念是：每立方英尺內,大于等于0.5的灰塵顆粒不能超過1000顆）。　　

 無塵車間等級規范區分潔凈度等級規范ISO14644根據懸浮粒子濃度這個僅有指標來區分潔凈室(區)及相關受控環境中空氣潔凈度的等級，而且僅考慮粒徑限值(低限)0.1um～0.5um范圍內累計分布的粒子群。根據粒子徑，能夠區分為慣例粒子(0.1um～0.5um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。