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 電子無塵車間工程的規劃，以芯片生產車間、集成電路無塵車間和磁盤制作車間為代表的電子工業工程凈化車間除了對微粒的嚴厲控制外，還對溫濕度的控制、照度微震等要求更嚴厲，去除靜電對生產產品的影響，從而使環境到達電子產品在潔凈環境的生產工藝要求。

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 電子無塵車間工程的溫、濕度應根據生產工藝要求確定當生產工藝無具體要求時，其溫度可按20~26℃，相對濕度30%~70%采用。人員凈化用室和生活用室的溫度可按16~28℃采用。根據與世界ISO標示接軌的中國國標準GB-50073，這類潔凈室的潔凈度等級1-9級，其中1-5級，氣流流型為單向流或混合流，風速；6級氣流流型為非單向流，換氣次數50-60次/h；7級氣流流型為非單向流，換氣次數15-25次/h；8-9級氣流流型為非單向流，換氣次數10-15次/h。

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根據現行標準，電子制作廠萬級無塵車間工程內的噪聲級：不該大于65dB(A)

 1.電子制作廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不該小于60%，水平單向流潔凈室不該小于40%，不然便是部分單向流了。

 2.電子制作廠無塵車間工程與室外的靜壓差不該小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不該小于5Pa。

3.電子制作行業萬級無塵車間內的新鮮空氣量應取下列二項中的值。

4.補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。

5.確保供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40㎡。